除认证外，德国莱茵TÜV还提供一站式的综合性服务

• 从设计阶段开始的支持和开发协助，直至SEMI S2/S8一致性
• 按照SEMI S14或其他国际标准执行的风险评估
• 完整的SEMI S2/S8报告
• 研究美国或其他地区的特定要求
• 化学和健康评估
• 符合相关欧盟指令或其他国际标准的支持和培训
• 灵活解决安全性问题、及时的支持
• 按照SEMI S23分析保护环境和资源
• 按照SEMI F47进行电压骤降/暂降抗扰度检测

注：不同标准适用于SEMI S2和S8。 因此，在大多数情况下，必须同时遵守美国和欧洲要求。 此外，还需要人体工程安全性评估。

SEMI S2和S8标准由国际半导体设备材料产业协会制定，主要从电气安全、人体工程学、辐射、环境影响、火灾和地震等方面对设备进行评估。最重要的两个SEMI标准为：

• SEMI S2：设备安全性评估 - 对设施安全进行评估
• SEMI S8：人体工程学评估 - 对人体工程学进行评估

国际SEMI协会（国际半导体设备材料产业协会）已发布关于半导体行业可持续性标准SEMI S23。SEMI S23第一版于2005年发布。在这方面，半导体制造商引领可持续发展。然而，在很长一段时间里，人们没有给予此标准足够重视。近日，SEMI S23再次成为半导体制造商关注的焦点，而2021年发布的SEMI S23版本体现了最新技术水平。

SEMI S23主要涉及两个方面。首先，SEMI S23指导了如何在真实设备上评估资源与能源消耗。此外，SEMI S23规定了促使制造商减少资源与能源消耗的质量体系规范。为此，制造商需定期监测能耗，并探索进一步降低能耗。

设备能耗的评估在各种工作模式下进行，包括生产、闲置或睡眠模式。评估维度包括耗电量、排气量、真空量、氮气量、冷却水量等。然后，使用指定的转换系数计算能源或功率当量，并最终据此确定年度性能指标。年度性能指标将用作制定后续行动的基准，甚至可用于为不同制造商的系统制定基准。

TÜV莱茵能为您的设备确定能耗值和关键指标。这些数据有助于您客观评估并降低能耗。越来越多的半导体制造商在购买新设备时，将能耗作为决策标准。

现代半导体制造工具对交流电源的干扰很敏感，干扰会造成生产中断，影响敏感设备的运行，并导致停机。因此，国际半导体制造商非常重视所用设备的抗干扰性能，以确保设备免受故障的影响。

作为制造商，您可以通过遵守SEMI F47来证明您所生产设备的质量。行业标准规定了在进行抗扰度客观检测时，工业机械所必须承受的电压暂降。许多半导体制造商都必须遵守该标准。

作为欧洲为数不多的服务提供商之一，我们不仅可以在我们的实验室，还可以在现场为大功耗设备提供检测。我们的检测设备（IPC-480V-200A）支持按照SEMI F47、IEC 61000-4-11和IEC 61000-4-34标准，在100-480VAC、50或60Hz以及最高每相200A负载电流下进行1相或3相检测。我们提供“现场检测”服务，难以运抵实验室的设备也可完成检测，为您节省时间。

注：标准IEC 61000-6-2：2016（EN IEC 61000-6-2:2019）包括根据IEC 61000-4-34进行电压暂降和中断检验（每相大于16A）。